[SEMICON Japan 2014] 高精度表面形状測定システム「Dyvoce」 – 神津精機株式会社

神津精機株式会社はSEMICON Japan 2014にて、高精度表面形状測定システム「Dyvoce」を出展。
ウエハ・フラットパネルのそり・たわみの評価ができ、ウエハに合わせてステージサイズがカスタマイズ対応可能な測定システムを紹介。
Website:http://www.kohzu.co.jp/i/