株式会社レクザムはSEMICON Japan 2014にて、シャトル搬送システムを出展。
シャトル装置とリニアロボットを利用した、縦方向に多段設置が可能なウエハ搬送システムを紹介。
Website：http://www.rexxam.co.jp/
![[SEMICON Japan 2014] 省エネ精密空調機「PAP SERIES」 – オリオン機械株式会社](https://www.tenji.tv/japan/wp-content/uploads/2014/12/semicon-japan-2014-pap-series.jpg)
![[SEMICON Japan 2014] ハイブリッドレーザーマイクロスコープ「OPTELICS HYBRID」 – レーザーテック株式会社](https://www.tenji.tv/japan/wp-content/uploads/2014/12/semicon-japan-2014-optelics.jpg)
[SEMICON Japan 2014] シャトル搬送システム - 株式会社レクザム
株式会社レクザムはSEMICON Japan 2014にて、シャトル搬送システムを出展。
シャトル装置とリニアロボットを利用した、縦方向に多段設置が可能なウエハ搬送システムを紹介。
Website：http://www.rexxam.co.jp/
![[SEA JAPAN 2014] 尿素水製造装置「Eco2 Light」 – 株式会社オプティ](https://www.tenji.tv/japan/wp-content/uploads/2014/04/13937.jpg)
![[国際バイオEXPO] インテリミキサー RM-2M – 株式会社トーホー](https://www.tenji.tv/japan/wp-content/uploads/2012/11/0271.jpg)
![[N＋ 2016] 大気プラズマ表面改質・洗浄装置 – エア・ウォーター株式会社](https://www.tenji.tv/japan/wp-content/uploads/2016/09/n-20161-360x203.jpg)
