[SEMICON Japan 2022] 真空平面加熱ユニット - ヒメジ理化株式会社

今回、紹介させていただくのが、こちらの真空加熱ユニットになります。
こちらは、15本のハロゲンヒーターを、独自に一つ一つを制御して、こちらは真空を引いて、均一に温めることができます。

こちら、特許を出願済みということになってるんですけども、そちらは、リード線がそのチャンバーの外に出ている、というところが一つの特徴になっております。

なのでこれを使うと、物を均一に温めることができる、ということが特徴になります。