[SEMICON Japan 2022] 半導体製造装置用CABINEX-EWT II - 株式会社初田製作所

今から、初田製作所のCABINEX-EWT2という自動消化装置のご説明をさせていただきます。

従来のキャビネックスewtは、このこちら の炎センサー、炎を感知するセンサーが32台だったんですけども、EWT2になりまして96台、約3倍の炎センサーが搭載できるようになりました。

これにより、3倍の容量の危険部位を、様々なところから見て、炎を検知できるようになりました。

あとは、放射ノズルを小型化してますので、従来のノズルより約3分の1に設定しまして、かなり小さく、小型のノズルで、性能はそのままにさせていただいております。

あとModbusTCPっていう通信機能を搭載してますので、この装置自体が、どういう状態になっているのかというのを、こういうパソコンを通じて、見ていただけるようになっております。

かなり進化した新しい自動化装置になってますので、ぜひブースの方にお立ち寄りいただいて説明をさせていただきたいと思います。

よろしくお願いします。