[SEMICON Japan 2022] KUMADE-FORK（ECタイプ） - 株式会社ハーモテック

株式会社ハーモテックです。
弊社は特殊上原の搬送専門メーカーです。
今回はECタイプについてご説明させていただきます。

実際に、これがECタイプの展示になります。

ECタイプは、300mmの最高ウェーハの搬送向けに弊社が新たに開発をしたものです。

300mmの大口径ウェーハとなりますと、自重のたわみが大きくて、なかなか非接触での搬送というのが難しかったんですけど、

弊社のその独自のハンド、熊手での部分を少し改良しまして、

先端側から、吐き出すエアーや、旋回流して吐き出すエリアが根元側に来るように、

逆に根元が吐き出すエアーを、旋回で発生させたエアーが、先端側にくるようにして、この中央部分に、空気の反発し合う力を発生させました。

そうすることによって、自重でたわんだTAIKOウエハーを押し上げることができます。

なおかつ、TAIKOの表面、裏面、今日裏面、反転が対応可能です。

また、薄いTAIKOウエハーのみならず、フェアウエハー、貼り合わせウェーハ、厚いウェーハへの対応も可能です。