株式会社ハーモテックはSEMICON Japan 2022にて、KUMADE-FORK(ECタイプ)を出展。 Webサイト:https://harmotec.com/ 株式会社ハーモテックです。弊社は特殊上原の搬送専門メーカーです。今回はECタイプについてご説明させていただきます。 実際に、これがECタイプの展示になります。 ECタイプは、300mmの最高ウェーハの搬送向けに弊社が新たに開発をしたものです。 300mmの大口径ウェーハとなりますと、自重のたわみが大きくて、なかなか非接触での搬送というのが難しかったんですけど、 弊社のその独自のハンド、熊手での部分を少し改良しまして、 先端側から、吐き出すエアーや、旋回流して吐き出すエリアが根元側に来るように、 逆に根元が吐き出すエアーを、旋回で発生させたエアーが、先端側にくるようにして、この中央部分に、空気の反発し合う力を発生させました。 そうすることによって、自重でたわんだTAIKOウエハーを押し上げることができます。 なおかつ、TAIKOの表面、裏面、今日裏面、反転が対応可能です。 また、薄いTAIKOウエハーのみならず、フェアウエハー、貼り合わせウェーハ、厚いウェーハへの対応も可能です。 Post Views: 645 Related videos icon [INCHEM TOKYO 2023] Experion PKS DCS - 日本ハネウェル株式会社 2023/09/21 2023/09/28 icon [スマートグリッド展 2012] TAM風力タービン - KISCO株式会社 2012/05/30 2019/05/09 icon01:24 [第54回スーパーマーケット・トレードショー2020] 黒松仙醸どぶろく - 株式会社仙醸 2020/02/18 2020/02/18 icon [エコプロダクツ2010速報] キャパシタハイブリッド C-Hybrid - コマツリフト株式会社 2010/12/09 2019/05/09 icon [COMMERCIAL UAV EXPO 2022] FIXAR AERO LLC 2022/10/24 icon [TOKYO PACK 2010] 帯び掛けラベリングシステム - イーデーエム株式会社 2010/10/05 2019/05/07 icon [第37回オートサービスショー 2023] ROBO UPTY III - アベテック株式会社 2023/06/19 2023/06/30 icon [第27回 インターフェックス ジャパン] デジタルマイクロスコープ「KH-8700」 - 株式会社ハイロックス 2014/07/02 2019/05/08 icon [第12回インターペット] キャットロード プラス - 中西金属工業株式会社 2023/03/30 2023/04/12 icon [AUTO EXPO COMPONENTS 2023] 自動車電気部品 - ECLマグトロニクス 2023/02/03 icon [TAIPEI CYCLE 2023] 後輪ドラムモーター - ファルコン 2023/05/26 2023/05/26 icon01:03 [HVAC KOREA 2022] Ventilation_sirocco fan - Dae Ryun Ind. 2022/06/20 2022/07/15