[SEMICON Japan 2022] KUMADE-FORK(ECタイプ) - 株式会社ハーモテック
株式会社ハーモテックはSEMICON Japan 2022にて、KUMADE-FORK(ECタイプ)を出展。
Webサイト:https://harmotec.com/
株式会社ハーモテックです。
弊社は特殊上原の搬送専門メーカーです。
今回はECタイプについてご説明させていただきます。
弊社は特殊上原の搬送専門メーカーです。
今回はECタイプについてご説明させていただきます。
実際に、これがECタイプの展示になります。
ECタイプは、300mmの最高ウェーハの搬送向けに弊社が新たに開発をしたものです。
300mmの大口径ウェーハとなりますと、自重のたわみが大きくて、なかなか非接触での搬送というのが難しかったんですけど、
弊社のその独自のハンド、熊手での部分を少し改良しまして、
先端側から、吐き出すエアーや、旋回流して吐き出すエリアが根元側に来るように、
逆に根元が吐き出すエアーを、旋回で発生させたエアーが、先端側にくるようにして、この中央部分に、空気の反発し合う力を発生させました。
そうすることによって、自重でたわんだTAIKOウエハーを押し上げることができます。
なおかつ、TAIKOの表面、裏面、今日裏面、反転が対応可能です。
また、薄いTAIKOウエハーのみならず、フェアウエハー、貼り合わせウェーハ、厚いウェーハへの対応も可能です。
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展示会について
SEMICON Japan(セミコン・ジャパン)とは?|半導体製造装置・材料・先端パッケージング・検査計測の国際展示会
最終更新日:2026/10/23
SEMICON Japan(セミコン・ジャパン)は、半導体製造装置、電子材料、部品・コンポーネント、検査・計測、先端パッケージング、チップレット、半導体設計、製造自動化など、半導体・マイクロエレクトロニクスの製造サプライチェーンを対象とする国際展示会。半導体メーカー、装置・材料メーカー、研究機関などが集まり、AI・データセンター、自動車、IoT、医療機器、ロボティクスなどの応用分野を含め、最新技術や産業動向を紹介します。国内外の技術者、研究開発・生産技術・調達担当者、経営層が、新技術の導入、共同開発、サプライチェーンの構築、新規取引先の開拓に向けて交流・商談を行います。
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インターネット展示会.tv 編集部
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