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![[SEMICON Japan 2014] ハイブリッドレーザーマイクロスコープ「OPTELICS HYBRID」 – レーザーテック株式会社](https://www.tenji.tv/wp-content/uploads/2014/12/semicon-japan-2014-optelics.jpg)
神津精機株式会社はSEMICON Japan 2014にて、高精度表面形状測定システム「Dyvoce」を出展。
ウエハ・フラットパネルのそり・たわみの評価ができ、ウエハに合わせてステージサイズがカスタマイズ対応可能な測定システムを紹介。
Website：http://www.kohzu.co.jp/i/
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