株式会社レクザムはSEMICON Japan 2014にて、シャトル搬送システムを出展。
シャトル装置とリニアロボットを利用した、縦方向に多段設置が可能なウエハ搬送システムを紹介。
Website：http://www.rexxam.co.jp/
![[SEMICON Japan 2014] 省エネ精密空調機「PAP SERIES」 – オリオン機械株式会社](https://www.tenji.tv/wp-content/uploads/2014/12/semicon-japan-2014-pap-series.jpg)
![[SEMICON Japan 2014] ハイブリッドレーザーマイクロスコープ「OPTELICS HYBRID」 – レーザーテック株式会社](https://www.tenji.tv/wp-content/uploads/2014/12/semicon-japan-2014-optelics.jpg)
[SEMICON Japan 2014] シャトル搬送システム - 株式会社レクザム
株式会社レクザムはSEMICON Japan 2014にて、シャトル搬送システムを出展。
シャトル装置とリニアロボットを利用した、縦方向に多段設置が可能なウエハ搬送システムを紹介。
Website：http://www.rexxam.co.jp/
![[2014 NEW環境展] Tire-4 Interimエンジン「1204E-E44TTA」 – 四国建設機械販売株式会社](https://www.tenji.tv/wp-content/uploads/2014/05/2014-new-tire-4-interim1204e-e44.jpg)
![[FC EXPO 2015] 油圧駆動ガスブースター「HC500」 – サニー・トレーディング株式会社](https://www.tenji.tv/wp-content/uploads/2015/02/fc-expo-2015-hc500.jpg)
![[ワイヤレスジャパン 2016] IoTデバイス「BL-01」/ BIGLOBE SIM – ビッグローブ株式会社](https://www.tenji.tv/wp-content/uploads/2016/05/2016-iotbl-01-biglobe-sim-360x203.jpg)
![[第24回 ファインテック ジャパン] マイクロ・ビュー社製三次元計測器「VERTEX」 – イースタン電子工業株式会社](https://www.tenji.tv/wp-content/uploads/2014/04/14123.jpg)
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