神津精機株式会社はSEMICON Japan 2014にて、高精度表面形状測定システム「Dyvoce」を出展。
ウエハ・フラットパネルのそり・たわみの評価ができ、ウエハに合わせてステージサイズがカスタマイズ対応可能な測定システムを紹介。
Website：http://www.kohzu.co.jp/i/
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[SEMICON Japan 2014] 高精度表面形状測定システム「Dyvoce」 - 神津精機株式会社
神津精機株式会社はSEMICON Japan 2014にて、高精度表面形状測定システム「Dyvoce」を出展。
ウエハ・フラットパネルのそり・たわみの評価ができ、ウエハに合わせてステージサイズがカスタマイズ対応可能な測定システムを紹介。
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