株式会社レクザムはSEMICON Japan 2014にて、シャトル搬送システムを出展。
シャトル装置とリニアロボットを利用した、縦方向に多段設置が可能なウエハ搬送システムを紹介。
Website：http://www.rexxam.co.jp/
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[SEMICON Japan 2014] シャトル搬送システム - 株式会社レクザム
株式会社レクザムはSEMICON Japan 2014にて、シャトル搬送システムを出展。
シャトル装置とリニアロボットを利用した、縦方向に多段設置が可能なウエハ搬送システムを紹介。
Website：http://www.rexxam.co.jp/
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