明電ナノプロセス・イノベーションは、ピュアオゾンジェネレーターと表面改質成膜装置を展示しました。高濃度のオゾンとエチレンガスを混ぜることで、簡単にOHラジカルを生成できます。これにより、半導体の表面処理や接合技術などに利用されることができます。また、ピュアオゾンを使用することで低温での成膜が可能となり、マイクロ流路などの奥深い溝にも効果的です。主なアプリケーションは半導体や低耐熱な基材に対して有効です。明電ナノプロセス・イノベーションでは、表面処理や成膜に関心のある方々のお問い合わせをお待ちしています。Generated by OpenAI

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