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ヒメジ理化株式会社はSEMICON Japan 2022にて、真空平面加熱ユニットを出展。
Webサイト：https://www.himejirika.co.jp/
今回、紹介させていただくのが、こちらの真空加熱ユニットになります。
こちらは、15本のハロゲンヒーターを、独自に一つ一つを制御して、こちらは真空を引いて、均一に温めることができます。
こちらは、15本のハロゲンヒーターを、独自に一つ一つを制御して、こちらは真空を引いて、均一に温めることができます。
こちら、特許を出願済みということになってるんですけども、そちらは、リード線がそのチャンバーの外に出ている、というところが一つの特徴になっております。
なのでこれを使うと、物を均一に温めることができる、ということが特徴になります。
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