株式会社ニコンは測定計測展 2015にて、超高分解能非接触三次元表面形状計測システム「BW-S500 series」を出展。
走査型光干渉計測技術によって1pmの高さ分解能を実現した非接触三次元表面形状計測システムを紹介。
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