株式会社ハーモテックはSEMICON Japan 2022にて、KUMADE-FORK（ECタイプ）を出展。
Webサイト：https://harmotec.com/
株式会社ハーモテックです。
弊社は特殊上原の搬送専門メーカーです。
今回はECタイプについてご説明させていただきます。
弊社は特殊上原の搬送専門メーカーです。
今回はECタイプについてご説明させていただきます。
実際に、これがECタイプの展示になります。
ECタイプは、300mmの最高ウェーハの搬送向けに弊社が新たに開発をしたものです。
300mmの大口径ウェーハとなりますと、自重のたわみが大きくて、なかなか非接触での搬送というのが難しかったんですけど、
弊社のその独自のハンド、熊手での部分を少し改良しまして、
先端側から、吐き出すエアーや、旋回流して吐き出すエリアが根元側に来るように、
逆に根元が吐き出すエアーを、旋回で発生させたエアーが、先端側にくるようにして、この中央部分に、空気の反発し合う力を発生させました。
そうすることによって、自重でたわんだTAIKOウエハーを押し上げることができます。
なおかつ、TAIKOの表面、裏面、今日裏面、反転が対応可能です。
また、薄いTAIKOウエハーのみならず、フェアウエハー、貼り合わせウェーハ、厚いウェーハへの対応も可能です。
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